성윤모 산업통상자원부 장관(왼쪽)이 15일 오후 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 전체회의에서 의원 질의에 답변하고 있다. 왼쪽은 정승일 차관<사진=연합뉴스>
▲ 성윤모 산업통상자원부 장관(왼쪽)이 15일 오후 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 전체회의에서 의원 질의에 답변하고 있다. 왼쪽은 정승일 차관<사진=연합뉴스>

[폴리뉴스 김기율 기자] 정승일 산업통상자원부 차관은 “러시아산 불화수소가 품질이 충분히 뒷받침 되고, 반도체 공정에 문제가 없다면 사용할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

정승일 차관은 15일 여의도 국회에서 열린 산업통상자원중소벤처위원회 전체회의에서 최인호 더불어민주당 의원의 “최근 러시아가 불화수소 공급 가능성을 타진했다는 게 맞느냐”는 질문에 “그렇다”며 이같이 말했다.

정 차관은 “다만 반도체용 고순도 불화수소와 일반 공업용 저순도 불화수소로 나뉘는데, 6년 전 도입했던 러시아산 불화수소가 고순도인지 확인해봐야 한다”며 “국내 반도체 양산라인에 맞는지 실증하는 기간만 6개월에서 1년 정도 소요된다”고 설명했다.

정 차관은 “기존 불화수소 특화 장비에 러시아산을 넣었을 때 수율이나 생산성에 변동이 없어야 하기 때문에 최적화하는데 시간이 걸린다”고 덧붙였다.

앞서 지난 4일 일본 정부가 불화수소를 비롯한 플루오린 폴리이미드, 레지스트 등 반도체 필수 소재 수출 규제 강화를 단행하면서, 우리 정부와 기업들은 피해 최소화를 위한 방안을 모색하고 있다.

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